Flächenlichtmodulator

Flächtenlichtmodulator mit Verkapselung (256x256 individuell adressierbare Spiegel von 16x16 μm² Größe).

Strukturierte Beleuchtung

Das Ziel der Technologieplattform “Strukturierte Beleuchtung” ist die Entwicklung von optischen Modulen für die hochaufgelöste Mikroskopie mit deutlich reduzierter Phototoxizität. Die Lösungen machen Gebrauch von optimierten MEMS Mikrospiegelarrays, die als Flächenlichtmodulatoren wirken, in Kombination mit speziellen Optiken. Durch Einsatz von zwei Mikrospiegelarrays in einem extra konstruierten optischen Aufbau lässt sich eine Kontrolle des einfallenden Lichts in Raum und Winkel bzw. die Projektion definierter Muster erreichen. Flächenlichtmodulatoren des Fraunhofer IPMS bestehen aus einer Anordnung von Mikrospiegeln auf einem Halbleiterchip, wobei die Spiegelanzahl anwendungsspezifisch aktuell von einigen hundert bis zu mehreren Millionen Spiegeln variiert. Hierbei kommt in den meisten Fällen ein hochintegrierter anwendungsspezifischer elektronischer Schaltkreis (ASIC) als Basis der Bauelementearchitektur zum Einsatz, um eine individuelle analoge Auslenkung jedes Mikrospiegels zu ermöglichen. Darüber hinaus werden auch Ansteuerelektroniken für Spiegelarrays inklusive Software entwickelt.